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行业动态 EV GROUP微影与量测系统获多家晶圆级光学元件厂商采用
世纪奥美公关公司 本新闻稿发布于2017/09/11,由发布之企业承担内容之立场与责任,与本站无关

消费性电子产品、移动装置及其他应用对先进3D/光学感测器之需求趋动市场成长 台北,2017 年 9 月 11 日 — 微机电系统(MEMS)、奈米科技、半导体晶圆接合暨微影技术设备的领导厂商EV Group(EVG)今日宣布旗下完整的制造设备与服务获得多家客户的订单,这些设备与服务设计能满足晶圆级光学(WLO)及3D感测的殷切需求。

 
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EVG将于 9月 13 至 15 日在台北南港展览馆登场的SEMICON Taiwan国际半导体展中,展出WLO产品线,欢迎造访 EVG 212号摊位,进一步了解EVG产品及全系列微影制程与晶圆接合解决方案。

EVG领先市场的产品包括,用于步进重复(step-and-repeat)母模(master stamp)制造的EVG®770 自动化UV-奈米压印微影(UV-NIL)步进机、晶圆级透镜压铸与堆叠制造专用的IQ Aligner® UV 压印系统,以及用来检验对准的EVG®40 NT 自动量测系统。EVG 的 NILPhotonicsTM Competence 技术中心支持其WLO解决方案,该中心运用经实地验证的制程与设备知识,不仅支持各种新兴光子(photonic)应用,还能藉由快速流程建置与最佳化,及客制化设备设计,大幅缩短产品上市时程。

EVG的设备在全球累积庞大的装机数量,堪称是奈米压印与微型铸模(micromolding)的先锋与市场领导者。运用EVG尖端压印微影与接合对准(bond-alignment)技术生产出的晶圆级微型透镜、绕射光学元件、以及其他光学组件,能提供多方优势,其中包括透过高度并行化的制程降低拥有成本,及透过堆叠技术做出更微小的终端装置。

EV Group企业技术总监Thomas Glinsner博士表示:「市场对于晶圆级光学元件制造设备的需求正急速攀升,光在今年,我们就出货多款多台透镜压铸与堆叠制造以及量测方面的设备至许多WLO一线制造商,用来量产各种元件。这些订单除了进一步强化EVG作为此市场领导者的地位,还为这些新应用创造可观的新商机。」

多家领先业界的元件制造商近期宣布计划扩大在感测市场的经营版图,以配合客户日趋紧缩的上市时程。根据市场研究与战略谘询公司Yole Développement的研究(1)指出,目前业界有十多种感测器设计用来支持下一代的智能手机,其中包括3D感测相机、指纹感测器、虹膜扫描仪、激光发光二极体、激光测距器、及生物感测器。整体来看,光学枢纽元件(optical hub)的市场规模将从2016年的106亿美元,成长到2021年的180亿美元,复合年增率超过11%。

移动消费性电子产品对于新型光学感测解决方案与元件的需求,带动EVG旗下WLO制造解决方案的需求成长,其中包括营造更具美感的虚拟实境与扩增实境(VR/AR)用户经验的3D感测、对于各种安全应用越来越重要的生物辨识感测、环境感测、红外线(IR)感测、以及阵列相机(camera arrays)等。其他应用还包括智能手机额外搭载的光学感测器,可透过先进景深感测技术来改进自动对焦性能及微型显示器。

EV Group技术开发暨IP部门协理Markus Wimplinger表示:「晶圆级光学与3D感测领域出现一波高持续性的趋势,近期公司总部的NILPhotonics Competence 技术中心持续为许多客户的专案提供技术支持,因此我们能预见近期业界将更加广泛采纳这项技术。」

关于EVG的WLO 设备产品
 用来铸造母模的 EVG770 自动化UV-NIL 步进机:母模是晶圆尺寸的模板,上面排满微透镜模具,这些模具以步进重复方式从一个透镜模板复制而成。从材料或玻璃做出单一透镜母模开始,EVG提供一个覆盖所有铸造母模之关键制程步骤的流程,不仅具备极高的位置精准度,还达到高度的透镜外型再现性(repeatability),符合制造高阶晶圆级相机模组的要求。

 用于 UV 微透镜铸造的 IQ Aligner 自动化UV-NIL系统:微影UV 压印是一种高度并行制造技巧,用来制造聚合材质微透镜,亦即WLO系统的关键元件。从晶圆大小的母模复制软式工作模具开始,EVG提供混合与单片透镜铸造制程,能在工作母模或微透镜材料与各种不同材料组合时,轻易进行调适。此外,EV Group还提供通过验证的微透镜铸造制程,包括提供所有相关材料的know-how知识。

 EVG40 NT 自动量测系统:其支持极高分辨率与精准度的垂直与侧边(lateral)量测。量测对于验证严格制程规范及快速最佳化集成制程参数而言至关重要。在WLO制造方面,EVG的量测解决方案除了能用于关键尺寸(CD)的量测以及透镜堆叠对准验证外,还能用在许多其他领域的应用。

欲了解有关 EVG旗下WLO制造解决方案的信息,请浏览 :
https://www.evgroup.com/en/solutions/wafer_level_optics/introduction/

关于EV Group (EVG)
EVG是全球半导体、微机电、化合物半导体、电源元件和奈米科技应用的晶圆制程解决方案领导厂商,主要产品包括晶圆接合、晶圆薄化、微影/奈米压印影术(NIL)和检测设备,以及光阻涂布机、显影机、晶圆清洗和检测设备。EVG成立于1980年,藉由一个完备的全球网络资源为全球的客户和合作夥伴提供服务。更多相关信息请参考公司网站:www.EVGroup.com

- 新闻稿有效日期,至2017/10/12为止


联络人 :卢慧柔
联络电话:02-2577-2100
电子邮件:DebbieHJ.Lu@eraogilvy.com

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