KLA-Tencor 最新的檢測技術可協助最頂尖的晶圓製造商
改善無缺陷的 45 奈米世代的晶圓生產KLA-Tencor, Inc. 在今天宣布全球半導體產業領先的晶圓供應商信越半導體股份有限公司 (Shin-Etsu Handotai, Ltd., SEH) 和 SUMCO Corporation (SUMCO) 成為 KLA-Tencor 的測試系統合作夥伴，在其 45 奈米世代的晶圓中採用 KLA-Tencor 最先進的非圖樣晶圓檢測技術，以便識別與區分重要缺陷。這項全新的創新檢測技術是以業界領先的 Surfscan SP2 平台為基礎，在進行無缺陷的晶圓開發時，生產的裝置能夠符合更為緊縮的晶圓規格。 「隨著晶片的製造逐漸移往 45 奈米製程，在前幾代奈米製程中較少被偵測到的晶圓缺陷漸漸成為良率的殺手，而晶圓供應商必須能夠快速地辨識出哪些缺陷能夠重新修訂，而哪些缺陷則會造成必須捨棄整個晶圓。」KLA-Tencor 晶圓檢測集團副總裁 Mike Kirk 說道：「與這兩家領先的晶圓製造商合作可幫助我們生產出業界最先進的晶圓檢測技術。」 實際上，幾乎全世界所有的晶圓供應商都使用 KLA-Tencor 的晶圓表面檢測系統進行品質的控管。由於晶片製造商對於基底規格的要求極為嚴格 (包括去除本身的缺陷以及對表面品質的準確控制)，因此新一代的檢測技術便必須能夠幫助晶圓製造廠調整其生產過程並且在製造期間維持高水準的品質。
SEH 技術與開發部門總經理 Katsuhiko Miki 表示：「在為我們的客戶提供無缺陷的晶圓時，不論是在開發更先進的晶圓製造程序或是供應高品質的產品方面，我們都必須在每個新的晶片生產時做好絕佳的品質控制。KLA-Tencor 在晶圓檢測技術方面豐富的專業知識，使他們極為自然地成為我們的合作夥伴，幫助我們提昇製造技術的水準。」 SUMCO 生產與技術部門總經理 Etsuro Morita 說道：「我們與 KLA-Tencor 的合作關係將有助於我們邁向新一代的晶圓製造並獲得更大進展，我們的客戶也能因此建造出品質基礎更勝以往的奈米裝置。KLA-Tencor 的檢測與產量知識是克服 45 奈米及以下缺陷困境的關鍵要素之一。」
### KLA-Tencor 公司簡介：KLA-Tencor 是全球半導體製造和相關產業的良率管理及製程控制解決方案領導廠商。其總部位於美國加州聖荷西，在世界各地設有辦事處和服務機構。屬於 S&P 500 大公司的 KLA-Tencor 在 NASDAQ Global Select Market (納斯達克全球精選市場) 上市交易，交易代碼為 KLAC。如需其他相關資訊，請造訪公司網站
- 新聞稿有效日期，至2007/02/05為止
聯絡人 ：唐毅倫 Ellen Tang(廿一世紀公關)
聯絡電話：2577-2100*802
電子郵件：Ellen.Tang@erapr.com
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