Edwards將展示其先進的乾式真空泵浦，以及供半導體、太陽能光電、平面顯示器和LED等產業在生產製造過程中，有助將使用期間的整體成本及環境影響減至最低的尾氣處理解決方案。其中展品包含iXL120、iXL1000、 iXH6050H等乾式泵浦，以及eZenith和Atlas系列各級尾氣處理系統。另外，STPiX3006也將在台灣經銷商日揚科技 (Highlight Tech Corporation) 的展位同時展出。

SEMICOM Taiwan展會中將看到iXL1000的正式發表，它是為電介質刻蝕及輕型應用所設計的新型乾式真空泵浦， 相較於同等級iGX/GX系列乾式泵浦，它能再有效降低多達33%的耗電量。

同時展出的高吞吐量iXL120，是市場上最小(450mm x 230mm x 280mm)與最輕(59 kg)的泵浦之一，適用於在製程室快速抽真空及淨化應用方案。它的小尺寸特點能安裝在製程工具下或隱藏在晶圓廠 (fab) 的樓板層 (waffle floor)，有效節省fab空間。

乾式真空泵浦iXH系列結合了最先進的技術，能有效地掌握並符合半導體、平面顯示器、太陽能和LED等產業在生產製造上的嚴苛需求。Edwards研發的最新一代STP渦輪分子泵浦，提供了一個完全磁懸浮且高速的轉子，同時也更整合電源供應和控制器於其中。

Edwards在台灣至今已經建置超過22,000台乾式和渦輪分子泵浦，以及3,000個尾氣處理系統，是台灣半導體、平面顯示器、LED和太陽能等產業的真空解決方案之市場領導者。 2010年Edwards更加強對台灣的承諾，於苗栗縣竹南設置一個國家級的5,000平方公尺服務銷售中心，為顧客帶來更貼近的在地服務，並擴展各項服務的範圍。

Edwards 亞太區總裁Neil Lavender-Jones 指出：「在沉積和環境保護處理程序中，真空和尾氣處理解決方案絕對是非常重要且關鍵的。台灣是所有領先半導體產業中的生產重地，我們很榮幸能在此地的巨大成就和發展中作出一點貢獻。很高興今年能再次於SEMICON Taiwan介紹Edwards真空和尾氣處理的最新技術。」

Edwards在亞洲深耕達四十年，現在與此區域各個頂尖的半導體製造商合作，提供整合式真空和尾氣處理解決方案，包括建置、管理、服務和支援。

Edwards 是一家堅持環境管理和綠色環保科技承諾的公司，在展會期間將參與於 9月6日(星期四)在南港展覽館402A室所舉辦的綠色製程技術趨勢論壇。論壇主題是綠色生產製造的先進技術，Edwards 真空產品業務經理Mike Percy和資深產品經理Jerome Boegner將與會發表演說，題目為「真空和尾氣處理系統在能源和設備方面的節省優勢」 (時間為下午3:00到3:30)。

Edwards產品的創新，持續在低能耗和高效能之間找到完美平衡，滿足先進產業技術如3D半導體晶片製造在製程處理上的需求。公司的「平台」(platform)設計方式能實現快速的產品研發，乾式泵浦的效能也有效符合半導體、LED、平面顯示器與太陽能等產業在生產過程中面對新挑戰的需求。

關於Edwards

Edwards公司是全球領先的半導體、平板顯示器、LED和太陽能電池製造領域高精真空設備和尾氣處理系統製造商及相關加值服務供應商，是工業、製藥、化工、科研、加工、玻璃鍍膜和食品包裝行業以及廣泛的研發應用領域的真空技術領導者。

Edwards在全球擁有3,300多名全職員工和600多名臨時員工，他們在世界各地約30個國家從事高科技真空和廢氣管理設備的設計、製造和支援工作。

Edwards公司的美國存托股票 (American Depositary Shares) 在納斯達克全球精選市場 (NASDAQ Global Select Market)上交易，交易代號為EVAC。要瞭解有關Edwards的更多資訊，請瀏覽公司網站www.edwardsvacuum.com。

- 新聞稿有效日期，至2012/09/30為止

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