該系統係以半導體設備的通訊協定（SECS）架構為基礎設計，讓晶圓廠使用者可以同時擷取多筆real time photo resist dispense 噴量並將資料上傳到SPC或FDC系統做即時監測及計算，達到即時預防Bubble所造成噴圖所造成的poor coating及進階達到光阻噴塗量的節省，有效改善光阻噴圖所造成的rework rate降低。

竹陞科技總經理方泰又表示，半導體最核心製程在於微影技術上，而光阻塗佈是微影製程中極為重要的一環，雖說在製程上光阻的噴量多留些空間可以減少覆蓋不均的發生率但是造成噴塗的浪費，噴量最適化卻又增加一些製程條件及參數的緊縮及光阻壓力變化下微小氣泡產生的覆蓋不均。如何降低噴塗量與重工率攸關FAB廠的競爭力與獲利。竹陞科技本持降低耗損;降低成本與競爭力為優先的客戶導向，開發出光阻噴量的即時FDC監測系統，由系統自動依據噴塗量數據來達到減量及時攔檢異常產品。

Sensirion產品經理Jonas Horn表示，Sensirion非常高興在高要求的工業找到一家擁有豐富經驗的公司合夥。在臺灣為 photo resist flow meter SLQ-QT105尋找擁有潛力合夥公司時，歷經多方面的考量，顯然竹陞科技股份有限公司是最佳的。與竹陞科技股份有限公司合夥，我們不僅找到經銷公司，而且是一家對extra sensor系統整合擁有豐富經驗的公司。 竹陞科技股份有限公司了解客戶的需求而且可以提供完整的解決方安，讓客戶可以運用我們的sensor 達到最佳效果。

若想進一步了解【光阻噴量偵測系統】，
請聯絡 Donny Tan e-mail : donny@gutc.com.tw 電話 : 03-5586706#302

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竹陞科技是一家專業Extra Sensor系統整合的領導廠商，專注於半導體及面板廠之製程設備監測系統上自動化的設計公司，以提供最具競爭力的產品應用及規劃設計服務，用於各種製程設備的監測需求，幫助客戶不斷提升對設備製程上Critical parameter的掌控能力，目前為全球眾多半導體廠Extra Sensor的主要供應商。

Sensirion公司是一個世界領先的傳感器製造商，專門為客戶提供超高精度的傳感器解決方案，其產品具有無可比擬的優越性能。產品系列包括電容性濕度傳感器以及差壓傳感器，液體流量傳感器，氣體質量流量計，氣體質量流量控制器。此次特別針對半導體廠之光阻系統的集成的高端需求，推出一款半導體級別的傳感器解決方案，採用Sensirion經過驗証的熱式微傳感器科技，其強化了在靈敏度，穩定性和速度對光阻的應用。此款半導體級別的傳感器在極短的響應時間可以準確的監控高速度動態變化過程，此感測器可以在無任何彎角的直管流道管壁裡進行無侵害的測量。

- 新聞稿有效日期，至2011/08/27為止

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