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產業動態 KLA-Tencor 推出新型 P-6 表面輪廓儀系統
萬博宣偉公關 本新聞稿發佈於2008/07/17,由發布之企業承擔內容之立場與責任,與本站無關

KLA-Tencor 公司發布最新的探針式表面輪廓測量系統 P-6™,該系統針對光電太陽能電池製造等科學研究與生產環境,提供一組獨特的先進功能組合。

 
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KLA-Tencor 針對科學及太陽能量測推出新型 P-6 表面輪廓儀系統

美國加州密爾必達 ─ 2008 年 7 月 16 日訊 ─ KLA-Tencor 公司 (NASDAQ:KLAC) 今日發布最新的探針式表面輪廓測量系統 P-6™,該系統針對光電太陽能電池製造等科學研究與生產環境,提供一組獨特的先進功能組合。P-6 系統具備以先進半導體輪廓儀系統開發的測量技術優勢,但採用了較小、較經濟的桌面型機台設計,可接受最大至 150 釐米的樣本。

KLA-Tencor 成長與新興市場集團副總裁 Jeff Donnelly 表示:「我們很開心能推出 P-6 探針系統,該系統將為科學與太陽能客戶提供應用上最佳的功能組合。對於太陽能市場,P-6 能夠在開發階段提高太陽能電池效率、監控生產製程品質所需的解析度、掃描品質以及自動控制能力。」

P-6 探針式輪廓儀包含了 KLA-Tencor 自動化 P-16+ 探針式輪廓儀的眾多功能,充分承襲其最佳技術與效能:

• 低雜訊基底可改善對微小表面特徵的測量靈敏度
• 小於 6 埃的階高可重複性,確保了嚴苛的製程控制
• 150 毫米 X-Y 樣本載台可實現覆蓋整個基底的單一測量
• 2D 應力測量與分析可將缺陷降至最低並提升良率
• 功能強大且容易操作的分析軟體,能提供高階應用的靈活性

P-6 輪廓儀已通過重要太陽能產品製造商 BP Solar 的合格認證。BP Solar 技術副總裁 Eric Daniels 表示:「經由對 KLA-Tencor P-6 系統的評估,我們證明其對於多種表面量測應用系統的一系列製程條件,具備高靈敏性,其中包括 ARC 薄膜、導線觸點及前表面紋理結構。對於支援我們的技術開發與生產改善,P6 是一項極富價值的工具。」

P-6 系統於 2008 年 7 月 15 至 17 日在舊金山舉辦的 InterSolar 北美展會上展出,KLA-Tencor 的攤位編號為9252。
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關於 KLA-Tencor: KLA-Tencor 是專為半導體和相關產業提供製程控制及良率管理解決方案的全球領先供應商。該公司總部設在美國加州的密爾必達市,銷售及服務網遍佈全球。KLA-Tencor 躋身於標準普爾 500 強公司之一,並在納斯達克全球精選市場上市交易,其股票代碼為 KLAC。有關該公司的更多資訊,請參觀網站 http://www.kla-tencor.com。

- 新聞稿有效日期,至2008/08/17為止


聯絡人 :徐元貞
聯絡電話:27225779 *637
電子郵件:jenhsu@webershandwick.com

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